真空チャック(バキュームチャック)をオーダーメイドで1品から|モリシン工業株式会社

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真空チャック(バキュームチャック)<無料デモ機貸出中>

真空チャック

メリット

【メリット①】 オーダーメイドで1品から製作可能

吸着穴の直径やピッチ」、「吸引口の仕様や位置」、「吸着エリアの範囲や区分け」、「寸法や形状」、「表面処理」、「加工」などを自由に設計できます。無料御見積をご希望の方は「こちら」からお気軽にお問い合わせください。

 

 

【メリット②】 無料デモ機で吸着性能を確認可能

無料デモ機を貸出中です(2種類あります。詳細は「こちら」)。実際のご使用環境で吸着性能をご確認いただけます。ご希望の方は「こちら」からお問い合わせください。また、本ページの下の方に吸着実験の動画がありますので是非ご覧ください。

 

 

【メリット③】 平面度が高い

平面度が約±0.05mm/m程度と高いため、吸着するワークの変形を最小限に抑えられます。

 

 

【メリット④】 コストダウンの可能性

ポーラス(多孔質)チャックや従来型の真空チャックよりも大幅なコストダウンが可能な場合があります(※仕様や製作数量によります)。是非一度、無料御見積をご依頼ください。ご希望の方は「こちら」まで。

 

 

【メリット⑤】 加工も自由

タップ、ザグリ、貫通穴などの加工を自由に施すことができます。お客様の事情に合わせて真空チャックを固定したり他の機器に取り付けたりすることができます。

 

 

【メリット⑤】 軽量&高強度

弊社の真空チャックはハニカムパネル製です。「軽量」なの設置・交換の際の負担が少なくできますし、可動部に使用する場合は動力が小さくて済みます。また、「高強度」なので真空チャックを支持するための補強部材を最小限(もしくはゼロ)にできます。

 

 

【メリット⑥】 マグネットが付く仕様も可能

真空チャックの機能に加え、表面の素材をSUS430などにすればマグネット(磁石)が付く仕様にできます。

 

 

【メリット⑦】 「帯電」や「反射」も防止

表面に導電性処理を施すことで帯電防止仕様にできます。また、表面を黒アルマイト処理すれば光の反射を抑えることもできます

 

 

【メリット⑧】 複数の吸着エリアを設定可能

真空チャックの「内部に仕切り」を設けることで、複数の吸着エリアを設定することが可能です。そのため、1つの真空チャックで複数のサイズのワークを吸着することができます

 

 

【メリット⑨】 吸着力を自由に設定可能

真空チャックは内部を真空にすることで大気圧を利用してワークを吸着するというものです。したがって、その吸着力は基本的に吸着穴の総開口面積に比例します。ワークの性質を勘案しつつ吸着穴の直径とピッチを設計することで吸着力を自由に設定することが可能です。

用途例

【事例1】大型の産業用インクジェットプリンタの吸着テーブル

 

2000x2500mm超の真空チャックを量産しています。ウラ面の両端(長手側)にLMガイドを取り付けて動かすことができる仕様になっています。弊社の真空チャックは「軽量&高強度&高精度」のハニカムパネル製のため、LMガイド間に支持部材がなくても「たわみ」を極力抑えることが可能です。また、インクジェットプリンタに求められる高い平面度もクリアしています。

 

 

【事例2】シリコンウェーハの真空チャック

 

φ400mm弱のシリコンウェーハの真空チャックを製作しました。弊社の真空チャックはオーダーメイド製作可能なので、シリコンウェーハに併せた円形の形状で製作しました。また、帯電防止のためにオモテ面を導電性アルマイト処理しました。さらに、中心付近と外周付近の2つの吸着エリアを設けました。

 

 

【事例3】極薄フイルムの真空チャック

 

真空チャックの吸着穴が大きいと、極薄のフイルムなどを吸着すると穴に吸い込まれて変形してしまいます。そこで、吸着穴が目では確認できないくらい小さい「φ30μm」の真空チャックを製作することでお客様のご要望を満たすことができました。

仕様

  • 【吸着穴】下記の2タイプからお選びください。

【パターン① 超微細孔タイプ】直径がΦ0.03mm、ピッチが0.6mmの目に見えないほどの大きさの吸着穴をレーザーで加工した真空チャックです。フイルムなどの極薄のワークを吸着する場合に吸着穴付近の変形を最小限に抑えます。わざとくしゃくしゃにしたフィルムを吸着した様子を下の動画でご覧ください。

 

【パターン② 通常孔タイプ】直径がφ0.5mm以上であれば任意の穴径ドリル加工により自由なピッチや吸着エリアの真空チャックを製作可能です(例:φ0.5、φ1.0、φ1.5…など)。

 

  • 【吸引口】自由な穴径で自由な位置に設定できます(例:管用テーパめねじRc1/4など)。

 

  • 【吸着エリア】1枚の真空チャックに複数の吸着エリアを設定することができます(パネル内部で吸着エリアを仕切ります)。

 

  • 【寸法】 製作可能範寸法内(t500 x 2,300mm x 4,300mm以内)であれば自由な寸法・形状で製作できます。

 

  • 【加工】タップ、ザグリ、貫通穴、開口、ポケット、切欠き、溝、面取りなど、一般的な金属素材と同様の加工が可能です。もちろん、加工個所からの空気漏れはありません。

 

  • 【表面処理】 アルマイト、硬質アルマイト、導電性アルマイト、アロジン、無電解ニッケルメッキ、塗装など様々な表面処理が可能です。また、表面材をSUS430にすることで磁石がくっつく仕様にすることもできます。

 

  • オーダーメイドで1枚から製作致しますので、お気軽にお問い合わせください。

吸着実験の動画(超微細孔タイプ)

真空チャックの吸着力の考え方

真空チャック内部の空気を真空ポンプなどで吸い出して真空にすることで、大気圧との差圧を利用してワークを真空チャック表面に吸着して固定することができます。

 

大気圧は約1kg/cm^2(101.3kPa)ですので、真空チャック内部を完全に真空(真空圧力0)にできるのであれば、吸着穴の総開口面積1cm^2あたり1kgの吸着力を発揮することになります。1/2気圧(真空圧力50.7kPa)の場合、0.5kg/cm^2まで吸着力は低下します。

 

つまり、真空チャックの吸着力は、「吸着穴の総開口面積」と「チャック内部の真空度」に比例することになります。

 

ということは、真空チャックの吸着力をアップするためには、「吸着穴の面積を大きくする」、「吸着穴の数を多くする」、「より高い真空度まで空気を吸い出せる真空ポンプ等を使う」等々の方法があります。

 

 

 

 

 

 

 

 

ハニカムパネルの導入を検討されている方へ

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